半导体设备产业链梳理一、行业背景据机构研报，半导体设备零部件板块正处于双重自主可控趋势叠加的背景下：一方面，AI驱动下游扩产景气周期开启，我国大陆半导体设备整机端要求自主可控，设备端国产化率提升背景下，零部件市场整体空间打开；另一方面，关键零部件整体国产化率偏低，高端产品国产替代尚处于早期。核心关注方向：1. 低国产化率品类的国产替代与突破进展2. 国产化进展顺畅品类的快速放量带动上市公司业绩改善 二、核心细分领域及上市公司1. 光刻机产业链- 上海微电子相关：上海电气、海立股份、张江高科、电气风电、上海机电、东方明珠、赢合科技、飞跃音响等- 长春光机所相关：奥普光电等- 光源：茂莱光学、波长光电、福晶科技、永新光学、国光电气等- 物镜：赛微电子、阿石创、洪田股份等- 光学器件：京华激光、苏大维格、炬光科技、腾景科技、晶方科技等- 控制器：电科数字、广立微等- 洁净设备：美埃科技、蓝英装备、ST金泰、安达智能等- 结构件：富创精密、新莱应材、联合精密、华亚智能、百奥化学、旭光电子等- 温控：同飞股份、海立股份等2. 前道设备- 刻蚀设备：中微公司、北方华创、屹唐股份等- 薄膜沉积设备：微导纳米、拓荆科技、北方华创等- 离子注入机：先导机电、华海清科、中科信息等- 涂胶显影设备：芯源微、盛美上海、至纯科技、固高科技等- 清洗设备：盛美上海、至纯科技、三美股份、富乐德、国林科技、蓝英装备等- 量测设备：中科飞测、精测电子、天准科技等- 抛光设备/耗材：华海清科、安集科技、金太阳、鼎龙股份等- 热处理/温控：屹唐股份、京仪装备等3. 检测设备中科飞测、矽电股份、强一股份、和林微纳、精智达、广立微、深科达、皖仪科技、日联科技、天准科技、精测电子、苏轼试验、赛腾股份等4. 封测设备华峰测控、长川科技、耐科装备、三佳科技、劲拓股份、罗博特科、联德装备、京仪装备、易天股份、金海通、新益昌、江波龙、奥特维等5. 泛半导体废气治理盛剑科技、仕净科技、创元科技、中微公司等 声明：本内容来源于公开资料，仅供参考，不构成任何投资建议。
