上海微电子28nm光刻机正式通过SEM认证 2025年11月16日，上海微电

上海微电子28nm光刻机正式通过SEM认证 2025年11月16日 ，上海微电子28nm光刻机正式通过SEMI（国际半导体产业协会）认证，这是国产高端光刻设备首次获国际权威认可，标志着其具备全球供货资质。 这不是单台设备通过测试，而是国产高端光刻机第一次拿到“全球护照”，意味着中国半导体装备业正式从“攻关”进入“创收”阶段，全球 DUV 市场三足鼎立的格局开始松动。 这一里程碑事件至少释放出以下四层关键信息： 1. 技术层面：国产 DUV 光刻机完成“从 0 到 1”的跨越 28 nm 浸没式（ArFi）方案通过 SEMI 认证，意味着分辨率、套刻精度、良品率等核心指标已达到全球通用规范，可以支撑 28 nm 乃至 14 nm/7 nm 多重曝光工艺，技术上正式摆脱“实验室样机”身份，具备商用量产能力 。 2. 市场层面：获得全球“通行证”，打开海外订单空间 SEMI 认证是晶圆厂、封测厂采购设备的“入场券”。通过认证后，上海微电子不仅可向国内长江存储、中芯国际等龙头供货，也能合法参与台积电、格芯、世界先进等海外产线的招标，直接对标 ASML、尼康、佳能的同级产品，标志着国产光刻机首次进入全球装备供应链“主赛道” 。 3. 产业安全层面：关键制程去美化取得决定性支点 28 nm 仍是汽车、工业、IoT 芯片的主力节点，占全球产能 60% 以上。设备通过国际认证后，国内可在这一黄金节点形成“自主可控”闭环，即使未来遭遇进一步出口管制，也能依靠国产机台维持产线运转，为 14 nm 以下更先进节点的攻关争取战略缓冲期 。 4. 资本与政策层面：借壳上市窗口打开，国家基金二期/三期将加速注资 上海微电子因“核心技术披露敏感”放弃 IPO，选择同一国资体系的壳公司快速重组。28 nm 设备获得 SEMI 认证后，资产评估值、订单可见度与政策溢价大幅提升，借壳方案大概率在年内落地，并带动张江高科、上海电气、福晶科技等生态链公司估值重估 。