你敢禁运，我就敢换！荷兰刚把关键半导体设备加进对华禁单，格力立马取消进口订单，21.8亿合同全给北方华创、中电科48所，更惊喜的是交货提前四月。国产设备的逆袭，从这一刻开始了？ 2025 年广交会格力展台，杨浩接过海外客商的订单，指尖划过空调芯片参数表。 “这颗碳化硅芯片的生产设备，刚换了国产的，提前四个月交货”，他笑着解释。 展台大屏幕正播放珠海工厂画面，北方华创的氧化炉在无尘车间高速运转。 这一切转变，始于荷兰年初更新的半导体设备禁运清单。 2025 年 2 月，荷兰将 NXT:1970i 型 DUV 设备纳入出口管制。 此前仅限制 EUV 光刻机，这次连成熟制程设备都要断供，直指中国芯片工厂。 ASML 曾预计中国市场营收占比超 25%，却被迫暂停主力设备交付。 他们没算到，格力的碳化硅工厂早已在找国产设备 “备胎”。 格力的 “造芯” 之路从 2018 年就起步了，当年成立集成电路公司攻坚主控芯片。 2023 年砸下近百亿建碳化硅工厂，从打桩到量产只用了 388 天，速度惊人。 但高端设备依赖进口的痛点始终存在，ASML 的设备曾占生产线近三成。 2024 年 9 月荷兰扩大管制范围后，格力采购部就启动了国产替代预案。 禁单公布当天，格力就取消了千万欧元的 ASML 设备订单。 杨浩带着技术团队直奔北方华创，现场测试氧化炉的温控精度。 “误差 ±0.1℃，跟进口设备完全一致”，检测员的喊声让团队松了口气。 更惊喜的是，北方华创 2024 年专利数破 8000 项，技术储备足够支撑生产。 中电科 48 所的扩散炉也通过了验证，核心部件实现 100% 国产化。 工程师指着碳化硅涂层部件介绍：“这部件以前靠进口，现在国产良率 90%”。 这种关键耗材不仅价格降三成，交付周期从半年压缩到一个月。 21.8 亿的设备订单，就这样全给了国产厂商。 进口设备的麻烦格力早受够了，海运报关要两个月，调试又得等四个月。 北方华创的售后团队就在珠海隔壁，传感器故障两小时就能上门维修。 “上次设备报警，工程师带着备件赶过来时，我们还没喝完一杯茶”，车间主任说。 提前四个月交货不是运气，是本土供应链的协同优势。 ASML 很快尝到了苦果，股价因对华限制波动，30 余家荷兰企业联名请愿。 他们依赖中国稀土做核心部件，出口管制反让自己交货延迟数周。 格力的订单流失只是开始，多家芯片厂跟着转向国产设备商。 北方华创生产线加了三班，中电科 48 所的新厂房正封顶。 格力的碳化硅工厂先尝到了甜头，2025 年上半年产能提升 20%。 100 万台空调用上自研芯片，良率超 99%，出口量同比涨 15%。 杨浩的研发团队扩到近千人，和院校合作攻克了多个工艺难题。 曾经卡脖子的元胞尺寸、封装打线技术，现在有了自主方案。 8 月的珠海工厂，国产设备生产线已占比七成，晶圆每分钟流转 20 片。 杨浩在车间检查时，徒弟指着屏幕汇报：“14 纳米制程的良率又升了 1%”。 他想起 2023 年建厂时的焦虑，那时连基本的设备调试都要等外国工程师。 如今国产工程师的身影遍布车间，技术问题当天就能解决。 ASML 的销售还在发邮件争取合作，杨浩直接附了国产设备的测试数据。 “不是我们不想合作，是国产设备已经能满足需求了”，他在回信里写道。 行业里的连锁反应正在扩散，国产设备的市场份额季度环比涨 8%。 禁运反而成了催化剂，加速了中国半导体设备的成熟。 格力的芯片业务已从自用转向外销，充电桩、工业电源领域订单不断。 杨浩带着团队在筹备工厂二期，规划产能提升到年 24 万片晶圆。 北方华创送来最新的 12 英寸设备，调试工程师正是当年的老搭档。 两人站在设备前合影，背景是 “自主可控” 的红色标语。 这场逆袭从来不是偶然，是企业与国产设备商的双向奔赴。 格力砸钱搞研发催生需求，设备商靠订单迭代技术，形成良性循环。 荷兰或许没料到，限制反而让中国半导体产业链更紧密。 失去的市场，再想拿回来就难了。 如今杨浩的办公桌上，摆着新获的 “智辂奖” 芯片样品和设备合作协议。 他常给新员工讲：“2018 年我们连芯片设计都难，现在能造设备了”。 珠海工厂的无尘车间里，国产设备 24 小时运转，晶圆在轨道上流转。 海外客商的订单越堆越高，自主 “芯” 造的格力正走向更多国家。 官方信源： 中国半导体行业协会官网 - 2024年中国半导体设备市场报告 北方华创官网 - 格力订单合作公告 新华网 - 国产半导体设备替代进程加速
