“光刻机没有一个国家可以做得到，美国都造不出，中国根本做不到！”“中国永远都造不出光刻机？”去年，中国物理学教授朱士尧在一次采访中直言：“美国都造不出，中国永远也造不出来！”甚至认为世界上没有一个国家能造出光刻机。 朱士尧1944年出生在上海嘉定，那时候科技远没现在发达。他1963年考上中国科学技术大学北京校区，学核反应堆工程专业，1968年毕业。毕业后几年，他转行物理研究。1973年开始在中科大近代物理系等离子体物理教研室教书，专攻等离子体物理和受控核聚变。他参与国家科研项目，写了不少论文，还出过三本专业书。1997年升研究生院副院长，当了七年，管资金和学术会议。2005年3月，他跳槽去华为，当党委副书记到2014年底，推动公司培训和文化建设。退休后，他偶尔聊科技话题，但基本低调。他的职业从学校研究到企业管理，跨度挺大，积累了不少物理知识。 在物理领域，朱士尧专注核聚变能量机制，教学生时强调实验数据准确。他在华为时，负责员工讲座，结合物理原理谈团队合作。生平看，他从学生时代就钻研核技术，后来扩展到等离子体应用。网上资料显示，他祖籍嘉定，毕业后留在中科大系统工作多年。百度百科提到，他还担任高特佳投资集团角色，但重点仍是学术和企业经历。他的路径典型，体现了那一代科学家从学校到产业的转变。 2024年9月，朱士尧在科技日报采访中抛出观点，光刻机不是哪个国家能单独完成的，美国办不到，中国也一样。他指出，这设备依赖全球供应链，没国家独力行。ASML是唯一组装EUV的荷兰公司，但核心技术不到10%，零件超10万个，从5000多家供应商来。光源靠美国Cymer，用激光击打锡滴，温度高过太阳表面40倍，产13.5纳米光。光学镜头德国蔡司做，粗糙度0.1纳米，精度如北京地面平到1厘米误差。光线反射11面镜子，利用率2%。 朱士尧强调，ASML花20年，投50亿欧元，拉英特尔三星入股，建封闭链条。美国70年代GCA占市场六成，后不合作，技术落后，2001年卖给ASML。中国上海微电子2002年起干，2025年交28纳米浸没机，用多重曝光到7纳米，但成本高三倍，落后EUV十年。拆ASML不行，部件敏感，数据丢就废。安装要无尘室12到18个月，振动控极小。2023年起，美国限EUV，2024加DUV，维修审批严。中国只能自力更生，但朱士尧坚持，这不是技术活，是全球工业产物。 他的话引发争议，有人觉得太绝对。光刻机生态复杂，ASML垄断EUV，但供应链全球化。美国虽发明技术，早丢主导。日本企业挤掉GCA。中国差距大，但不是零。朱士尧观点基于现实，供应链断不了单干。网上热议，他忽略中国韧性，但事实是，专利壁垒和封锁真棘手。 中国在光刻机上没停步。华卓精科双工件台精度1.5纳米，细过头发五万分之一。国科精密自产投影物镜，数值孔径0.93，不靠进口。光刻胶自给率从3%到2024年8%，2025继续涨。走激光诱导放电等离子体路，效率超ASML，样机2025年测。上海微电子28纳米机国产化超70%，进博会ASML秀DUV，但中国进口限。2025年3月，LDP原理样机在华为厂测试，第三季度试产，2026量产目标。 专利申请2025增47%，高校占六成。2023进口225台，87.54亿美元，国产份额预计15%。璞璘科技纳米压印设备，新凯来电子束光刻机，0.6纳米精度，8纳米线宽。北方华创等企业展台挤人，涉半导体设备。市场规模2025预计350亿美元，中国中低端替代强，高端需5-8年。8台DUV到中芯，投1200亿，28纳米工艺。封锁倒逼发展，量子芯片光子芯片加速。 朱士尧言论后遭批，许多说低估进步。他2025视频回应，认突破，但重申独立难。保持全球合作必要，低调露面，聊物理。整体，中国从跟跑到并跑，供应链本土化提速，但高端EUV仍挑战大。 朱士尧的生平显示，他从核物理起步，到企业管理，积累深厚。但他的光刻机看法基于全球分工现实，中国虽有进展，差距犹存。事实证明，科技突破靠坚持，不是一蹴而就。
