光刻机，最新行业动态一文全解析梳理。第一家：张江高科细分领域：园区开发、产业投资唯一性：通过旗下子公司间接持有上海微电子约10%股权，而上海微电子是国内唯一具备光刻机整机量产能力的企业。公司亮点：作为张江科学城核心开发主体，不仅打造了多个集成电路产业园区，还设立“张江浩芯”创新服务平台，打通芯片从设计、流片到量产的全链条生态。第二家：大族激光细分领域：激光与精密制造装备唯一性：A股市场中唯一公开披露已推出接近式光刻机产品的上市企业。公司亮点：构建了从激光器、光学系统到整机设备的垂直整合能力，其光刻设备已在部分封装与MEMS领域实现商用，是国产光刻整机的重要探索者。第三家：茂莱光学细分领域：高端光学元件与成像系统唯一性：国内唯一实现DUV光刻机投影物镜批量交付的企业，掌握亚纳米级面型控制技术。公司亮点：国家专精特新“小巨人”，与上海微电子深度协同，在DUV光学系统领域实现材料、设计、加工、检测全链路自主可控。第四家：凯美特气细分领域：电子特种气体唯一性：国内少数掌握EUV光刻所需高纯稀有气体纯化技术的企业，产品已进入ASML供应链体系。公司亮点：依托工业尾气回收提纯技术，在氪、氙等光刻关键气体领域填补国内空白，获多项国际半导体客户认证。第五家：华特气体细分领域：半导体用混合气体与气体工程唯一性：国内唯一同时获得ASML与GIGAPHOTON双认证的气体供应商。公司亮点：成功实现50余种电子特气国产化，多款光刻混合气已应用于5nm及以下先进制程，客户覆盖全球头部晶圆厂。第六家：新莱应材细分领域：超高纯洁净材料与真空系统唯一性：其半导体级气体管路与真空腔体组件已通过ASML、应用材料（AMAT）等国际设备商认证，并用于光刻机内部环境控制系统。公司亮点：国内极少数同时服务泛半导体、生物医药、食品三大高洁净领域的材料企业，技术达国际一流水平。第七家：美埃科技细分领域：洁净室与空气净化系统唯一性：为上海微电子28nm光刻机配套开发专用超净环境解决方案，打破海外企业在光刻洁净系统领域的长期垄断。公司亮点：拥有11个海内外生产基地，洁净产品广泛应用于中芯国际、长江存储等头部Fab厂，是国产光刻生态的关键支撑者。第八家：炬光科技细分领域：高功率半导体激光器唯一性：其激光光源模块作为关键子系统，已应用于全球顶级光刻设备制造商的光学检测与对准系统。公司亮点：国家技术创新示范企业，是ASML核心光学设备供应商的重要上游合作伙伴，在激光精密调控领域具备全球竞争力。第九家：奥普光电细分领域：精密光机电系统唯一性：控股股东长春光机所（长光所）是我国EUV光刻核心技术攻关单位之一，公司自身可提供光刻机所需的高精度光学晶体与运动控制部件。公司亮点：在空间光学、激光通信等领域积累深厚，多项技术转化至半导体装备领域，具备EUV光学系统研发基础。第十家：波长光电细分领域：大口径精密光学元件唯一性：已具备为先进光刻机配套大孔径照明与投影镜头的能力，参与研发的EUV物镜系统面型精度达2nm，处于国内领先水平。公司亮点：国家专精特新“小巨人”，掌握超光滑抛光、离子束修形等核心技术，曾获“中国激光行业卓越贡献奖”。从整机集成到光学、气体、材料、洁净环境等关键子系统。观看声明：文中所述文字及股票池仅作个人复盘记录使用，不作为投资建议，股市有风险，入市需谨慎。
