荷兰当局在10月31日宣布将禁售DUV光刻机,并对NXT:1970i、1980i等设备实施新的出口管制。 先说说 DUV 光刻机为啥这么重要,它可不是普通的机器。芯片制造的核心步骤是 “光刻”,简单说就是把电路图案 “印” 在硅片上,而 DUV 光刻机就是干这个活的关键设备。 虽然现在最先进的是极紫外(EUV)光刻机,能用来制造 7 纳米以下的高端芯片,但全球 90% 以上的芯片,比如汽车芯片、物联网芯片、消费电子芯片,还是靠 DUV 光刻机生产的。 DUV 光刻机通过深紫外光照射光刻胶,能在硅片上刻出 28 纳米到 90 纳米的电路,这个区间的芯片需求量极大,像一辆新能源汽车,就需要用到上百颗 28 纳米芯片,从车载导航到电池管理系统,都离不开它。 而 ASML 的 DUV 光刻机,市场份额占了全球的 85%,几乎没有竞争对手,荷兰禁售 DUV,相当于掐住了全球中低端芯片制造的 “脖子”。 再看被重点管制的 NXT:1970i 和 1980i 这两款设备,它们可是 ASML DUV 家族里的 “主力军”。NXT:1970i 是 2019 年推出的机型,每小时能处理 175 片硅片,主打 28 纳米和 40 纳米芯片的量产,像台积电、三星的 28 纳米成熟制程工厂,几乎每两条生产线就有一台 NXT:1970i。 而 NXT:1980i 是 2022 年的升级款,不仅把每小时处理芯片的速度提高到了 190 片,还能通过多重曝光技术,实现 14 纳米芯片的生产,不少芯片企业都靠它来降低 14 纳米芯片的制造成本。 根据 ASML 2024 年的财报,这两款设备的销量占了 DUV 光刻机总销量的 60%,全球有超过 500 台 NXT:1970i 和 1980i 在运行,一旦禁售,这些设备的后续维护、零部件更换都会受影响,更别说新设备的采购了。 荷兰当局为啥要突然对 DUV 光刻机下手?其实早有苗头。2024 年以来,美国就多次施压荷兰,要求扩大对中国的半导体设备管制范围,之前美国已经限制了 EUV 光刻机的出口,现在又想把 DUV 也纳入管制。 美国商务部曾在 2025 年 7 月发布报告,声称 “中国通过 DUV 光刻机生产的芯片,可能被用于军事领域”,以此说服荷兰跟进管制。虽然荷兰官方在声明里说,管制是为了 “维护国家安全和技术优势”,但明眼人都能看出来,这背后少不了美国的推动。 而且 ASML 作为荷兰的支柱企业,虽然不想失去中国这个大市场,但也不得不服从政府的政策 ——2024 年 ASML 对中国的 DUV 光刻机出口额达到 12 亿欧元,占其总营收的 18%,禁售对 ASML 来说也是不小的损失。 这个管制措施对全球芯片产业链的影响,很快就显现出来了。公告发布第二天,台积电就宣布暂停高雄 28 纳米工厂的扩产计划,原本计划采购 10 台 NXT:1980i,现在只能搁置;韩国三星也紧急调整了生产计划,把部分 28 纳米芯片的订单转移到越南工厂,可越南工厂现有的 NXT:1970i 设备已经满负荷运行,根本接不了更多订单。 中国的芯片企业受影响更大,中芯国际、华虹半导体等企业,之前都在计划通过采购 DUV 光刻机来扩大成熟制程产能,现在设备买不到,不少和汽车厂商签订的芯片供应合同都面临违约风险。 有行业分析师测算,2026 年全球 28 纳米芯片的产能可能会减少 15%,汽车芯片、工业芯片的价格可能会上涨 20% 以上。 更让人担心的是设备维护和零部件供应问题。DUV 光刻机的使用寿命一般是 10 年,期间需要定期更换光刻镜头、激光光源等核心零部件,而这些零部件大多只能从 ASML 采购。 现在实施出口管制后,已经卖到中国的 NXT:1970i 和 1980i,要是需要更换零部件,得先申请荷兰政府的许可,这个过程可能要耗时 3 到 6 个月,期间设备只能停机等待,会给企业造成巨大损失。 2025 年 11 月初,就有中国的芯片企业反映,厂里一台 NXT:1970i 的光刻镜头出现故障,向 ASML 申请更换,却被告知需要等待荷兰政府的许可,至少要等到 2026 年 3 月才能到货,这段时间只能靠调整其他设备的产能来应急。 荷兰这次禁售 DUV 光刻机,无疑会改变全球半导体行业的格局。一方面,ASML 可能会失去中国市场,给竞争对手留下机会;另一方面,中国和日本、韩国等国家会加快国产 DUV 光刻机的研发,减少对 ASML 的依赖。 未来全球半导体设备市场,可能会从 “ASML 一家独大” 变成 “多极竞争” 的局面,而这场管制措施,或许就是格局转变的开始。 【官方信源及链接】 荷兰经济事务部关于 DUV 光刻机出口管制的公告
