国产光刻机新秀将亮相新凯来光刻机分支：DUV65nm→EUV研发刻蚀设备：「武

潘达喜开箱 2025-09-04 15:19:28

国产光刻机新秀将亮相新凯来

光刻机分支：DUV 65nm→EUV研发

刻蚀设备：「武夷山」系列覆盖5-28nm

国产光刻机目前支持5-28纳米制程，速度很快了！ ​​​

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