EUV光刻技术获一等奖
翻开获奖名单，极紫外光刻光学技术赫然在列，金教授领衔。金教授1987年毕业于浙江大学光学仪器工程学系；1990年在长春光机所获硕士学位；2003年在长春光机所获博士学位。曾经完成了国内第一套极紫外投影光刻原理装置的设计与研制，获得了极紫外投影光刻复制的150nm线宽掩模图形，实现了极紫外投影光刻的原理性贯通。
所以说手机没坏再等等，EUV一次曝光就是7nm，多次曝光搞个5nm、3nm啥的，到时候华为手机更香。没准儿千元机都搞个5nm玩玩。
另外物镜波差检测、曲面抛光、无损清洗也都获奖，长光所简直了。
远游人
长春所一战成名！
用户18xxx84 回复 09-12 16:06
我觉得你可能不知道王大珩
DDTT 回复 09-14 11:52
还有一个福建物构所
海中沙
大爱长春！
DDTT
这要是真的岂止是省一等奖，国一都可以啊
我想有一只三花猫 回复 09-15 17:14
国一难，最近的东西挺多
DDTT 回复 我想有一只三花猫 09-16 10:50
凡尔赛吗[笑着哭][笑着哭][笑着哭]坐等好消息
对二氯苯
马冬梅！
用户10xxx50
真的假的？
星云
着的这么牛逼吗？