光刻机：激光光源：光源：科益虹源、福晶科技；光学镜头：奥普光电、福光股份、波长光电；物镜：赛微电子；光学元件：茂莱光学、腾景科技、炬光科技、晶方科技、永新光学、苏大维格；系统清洗：蓝英装备；结构件：结构零部件：富创精密、联合精密、电科数字；物镜系统：物镜及曝光系统：国望光学、赛微电子、国科精密；双工作台和沉浸系统：光掩膜版：华润微、路维光电、清溢光电；光刻胶：南大光电、彤程新材、上海新阳、高盟新材；涂胶显影：芯源微；双工作台：华卓精科；空气净化设备：美埃科技；浸没式系统：启尔机电；真空镀膜设备：汇成真空；光刻机整机：芯碁微装；参股持股：张江高科、上海电气。
