雷声激光实现全固态深紫外激光器量产，国产DUV光源迈入工业级应用新阶段有人问，这

烨华聊商业 2026-01-08 10:01:40

雷声激光实现全固态深紫外激光器量产，国产DUV光源迈入工业级应用新阶段有人问，这个是不是国产DUV光刻机有突破了？要注意，这事是个不错的科技突破，但和DUV光刻机不是一回事，而是用DUV光源做检测仪器。其实DUV和EUV直接与原始含义就是光学名词，但新闻里弄得似乎一提就是光刻机了。DUV和EUV“光源”，可以用来做很多事，做光刻机光源只是一种应用，而且条件要求最高。雷声激光这个“全固态DUV激光器”，只要看一个指标，就知道了：功率1.1W。这么小的功率，不可能用来当光刻机光源，没法完成曝光了。但是用来做检测仪器，就很合适，所以文中说了多种优点，是不错的突破。其实很多这类新闻，EUV光源如何如何了，基本都是功率不够大的。当然芯片产业大量需要检测仪器，这类科技突破，也能直接帮助到芯片产业、间接帮助国产光刻机发展。

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