光刻机巨头开始慌了,中国造不成光刻机,但是要造一个光刻工厂! 全球芯片产业最关键的设备,一直掌握在少数国外企业手里。荷兰ASML公司独家供应极紫外光刻机,这种设备供应链复杂,涉及美国光源和德国镜头等多国部件。从2023年起,美国推动出口管制升级,2024年1月禁止部分高端深紫外浸没式系统向中国发货,9月进一步扩展到中端型号,荷兰随之要求许可证申请。这让中国在精细制程上获取设备变得困难。 中国半导体企业没有把精力全放在追赶单台最尖端光刻机上,而是转向大规模晶圆厂建设,重点布局28纳米及以上成熟节点。中芯国际在上海临港、北京、深圳等地推进12英寸产线,2024年资本支出高位运行,2025年继续维持较大规模投资,用于产能扩充。这些厂区利用现有深紫外设备,结合国产部件如上海微电子的光刻机、华卓精科的工件台、南大光电的氟化氩光刻胶,形成完整生产链条。 中芯国际通过深紫外多重曝光技术,实现等效7纳米生产,已进入量产阶段,良率稳步提升。相比国外单机依赖,这种方式成本更可控,建设周期短,能快速响应市场需求。2024年中国晶圆产能增长15%,2025年预计再增14%,占全球近三分之一份额,主要来自中芯国际等厂商扩产。 国际企业开始感受到变化。ASML对中国成熟设备出口保持一定规模,2024年销售额占比一度高位,2025年预计调整到20%左右。公司在北京设立维修中心,支持现有设备维护。中国市场作为最大消费地,影响全球供应链。 中国坚持自力更生,集中力量办大事,在半导体领域取得实实在在进展。这不仅满足国内需求,还推动产业链安全稳定。未来,随着更多产线投产,中国在成熟制程上的优势会进一步显现,为高质量发展注入新动力。
