这10家企业能跻身国内半导体设备前十,靠的是卡脖子领域的硬核突破——每一家都是国产替代的“攻坚尖兵”:
北方华创凭刻蚀机、薄膜沉积设备的全品类覆盖,支撑28nm及以下制程产线,是国内少有的能提供半导体设备“全家桶”的企业;中微公司以5nm刻蚀技术打破国际垄断,其介质刻蚀机已进入台积电先进制程供应链;至纯科技的高纯工艺系统,是芯片制造“洁净度”的关键保障,国内市占率超60%;拓荆科技的PECVD设备,在逻辑芯片、存储芯片产线实现批量交付,填补了国产空白。
盛美上海的单片清洗设备,用独创的兆声波清洗技术替代进口;京仪装备的氧化扩散设备,是光伏、功率半导体产线的核心配套;华海清科的化学机械抛光(CMP)设备,打破了美国应用材料的垄断,已进入中芯国际产线;芯源微的涂胶显影设备,支撑了国内晶圆制造前道工序的自主化;晶升股份的碳化硅单晶炉,是第三代半导体材料量产的核心装备;先导基电(万业企业)的离子注入机,突破了先进制程的能量精度难题。
它们的核心技术,不是实验室里的“样品”,而是产线上的“刚需品”——从先进制程到第三代半导体,从晶圆制造到封装测试,每一个细分领域的突破,都是国产半导体产业链“补链强链”的底气。
