北大彭海琳团队干了件大事 以前做高端芯片,光刻胶这玩意儿就像“黑灯瞎火”里画画,谁也不知道它在晶圆上到底闹哪样。结果一显影,一堆小颗粒,短路、断线,良率卡在7纳米以下死活上不去。更惨的是,这东西八成靠日本进口,咱们自己做得少,还老做不好。 现在北大彭海琳团队干了件大事——他们用冷冻电镜,把光刻胶在液体里“动”的那一瞬间冻住,拍出了清晰到5纳米的3D照片。好比以前是摸黑走路,现在直接开了手电筒,终于看清:原来这些分子喜欢在表面“抱团”,一结块就是缺陷的源头。 更牛的是,他们不光看清楚了,还马上给出解决办法:一是稍微多烤一下,让材料更稳;二是改改喷液方式,让表面一直有液体盖着,不给它们抱团的机会。这些改动不用换设备,产线直接能用,一试,缺陷少了99%以上! 这意味着啥?国产光刻胶不再靠蒙,而是有据可依。配方好调了,问题好查了,验证也快了。以前可能要三五年才能突破的高端胶,现在可能一两年就能上量。不光胶能追上来,连带的显影液、清洗、检测设备也得跟着升级。 一句话,以前是摸黑走路,现在是拿着高清地图修高速,高端芯片良率和国产光刻胶替代都会明显提速。 以前是瞎子摸象,现在是开了天眼。国产芯片,尤其是高端芯片的良率和自主化,真要开始起飞了。
美国同意英伟达的芯片只要回到国内建厂,就能卖给中国。一出政策,中国立马反击:只要
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