不容易，卡脖子领域又一突破，重点是已经形成产业化方案了。长期以来，光刻胶在显影液

鄞钰评科技 2025-10-26 00:53:59

不容易，卡脖子领域又一突破，重点是已经形成产业化方案了。长期以来，光刻胶在显影液中的微观行为是“黑匣子”，工业界的工艺优化只能靠反复试错，这成为制约7纳米及以下先进制程良率提升的关键瓶颈之一。 ​​​

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