全国首台国产商业电子束光刻机在杭出炉全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”由浙江大学余杭量子研究院自主研发，目前并没有明确对应的上市公司。不过，部分上市公司可能会因为与“羲之”的技术关联或产业链合作而受益，比如博众精工、路维光电、芯碁微装、炬光科技等。具体如下：
- 博众精工：其2024年下半年发布的热场发射电子源、高稳定度直流高压电源和高稳定度恒流源等产品，不仅是透射电子显微镜的关键部件，还可用于电子束光刻机等领域设备。
- 路维光电：公司主营业务为半导体掩膜版的研发与生产，在电子束光刻、干法制程等技术领域持续投入，并针对90nm、40nm等制程节点开展研究，与电子束光刻机的应用有一定的技术关联性。
- 芯碁微装：国内直写光刻系统龙头，与“羲之”研发团队深度协同，技术覆盖纳米级光刻工艺，客户包括长江存储、长电科技等头部企业。
- 炬光科技：其高功率半导体激光器是电子束光刻机电子枪的核心部件，产品已应用于“羲之”设备研发，通过控股子公司长光宇航供应的精密位移传感器，精度可达±1nm，解决了电子束扫描中的纳米级定位难题，适配“羲之”工件台系统。
